超純水系統(tǒng)的3個部分
隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過程中，對于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，高純水也是其中關鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。
超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分：超純水制造區(qū)（CUB部分）；超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）；超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區(qū)）。在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質(zhì)、又應該做到經(jīng)濟合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區(qū)預處理階段多采用PVC管或SUS304管。
其中超純水制造區(qū)為復雜其又可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）；一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；
超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過濾器。但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。
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